適用于LED尾氣、硅外延尾氣、單晶硅多晶硅生產尾氣、熱處理廠保護氣排放氣等。
● 前置尾氣回收處理系統（與生產裝置協調一致）
● 使用******催化劑，多種工藝聯用，回收率高。
● 安全可靠——全自動運行，具備完善的報警、連鎖方案
● 性價比高——投資小，運行費用低， 經濟效益高。
● 撬裝設備
● 氣體處理量100-2000Nm3/h
● 安全報警功能完善
● 可提供遠程云服務
近年來，我公司響應國家產業政策的號召，大力開展節能減排、節能環保、循環經濟技術和產品的研究開發工作。在大規模集成電路、LED、光伏太陽能、硅外延以及金屬熱處理和化工行業的尾氣回收凈化利用上，取得了突破性成果，為相關行業、企業創造了可觀的經濟效益和社會效益。
退火爐氣體回收純化裝置針
對冷軋退火爐（連退爐、罩式爐）生產線
排放的尾氣，通過催化、吸附、膜分離等技術
聯用，純化到滿足使用要求后，經壓縮后循環
使用，回收利用率>80% 。
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丙烯低溫精餾液相回收裝置 從小本體聚丙烯常溫冷凝回收裝置放 空的尾氣出發，依次通過干燥工序、低溫 精餾工序回收液相丙烯。低溫系統由冷凍 機組制冷，設備簡單，操作方便。
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氯堿氫氣回收凈化裝置
采用洗氣、PSA、催化、TSA技術相結合，
從氯堿氫氣出發制取高純氫。原料氫氣通過
堿洗、水洗等脫除大量氯，干法吸附深度脫
氯工序脫除氣體中的微量氯，脫除深度可達
0.1ppm。然后依次通過壓縮、催化工序，兩
塔吸附工序脫除氣體中的O2、H20、CO2等
雜質后送出至使用點，脫除深度******可達0.1
ppm。
